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533系列多轉隔膜閥

規(guī)格:533系列多轉隔膜閥

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性能標簽:

533系列多轉隔膜閥,最大壓力3300PSIG



產品詳細描述


533系列多轉隔膜閥

533系列隔膜閥適用于高純或腐蝕性氣體系統(tǒng)的初級流量控制。獨特的設計允許對氣體任意方向低力矩(輕松)操作。可以用多轉型號實現(xiàn)流量控制,而¼ 轉型號可以快速動作并指示on/off位置。帶方向的箭頭可以用于指示壓力。美國CONCOA公司的這種533-3系列多轉隔膜閥,對超高純半導體應用,包含高壓過程管道、氣柜或閥匯流排箱柜來說,是非常理想的隔膜閥。

主要特征

  • 金屬對金屬隔膜密封防止污染
  • 雙向操作確保在所有壓力甚至真空情況下,完全控制
  • 無彈簧設計及低氣體接觸表面區(qū)域是的顆粒生成最小化
  • 光譜氦氣泄漏檢查驗證泄漏完整性

主要參數(shù)

  • 最大入口壓力: 3500 PSIG (240 BAR)
  • 閥體和連接: 黃銅棒;316L不銹鋼;鍍鉻黃銅棒或 到閥的硅CVD涂層塊
  • 閥座: PCTFE
  • 溫度范圍: -40~140°F (-40~ 60°C)
  • 隔膜材料: Elgiloy®
  • Cv: 0.17
  • 氦氣泄漏率: 1 x 10⁻⁹ scc/sec
  • 密封: 金屬對金屬
  • 重量: 0.66 lbs (0.3 kg)
  • 符合性: 清潔滿足或超過CGA G-4.1; CRN OC20418.5

 

選型信息表

533-3  B C D
系列 流量控制方向 材料  連接 
  0: 多轉 右到左 2: 黃銅  0: ¼”FNPT x ¼”FNPT
  2: 多 左到右* 4: 316L不銹鋼 1: 6mm管接頭 x 6mm管接頭 
    5:Silconert™ 1020  2: ¼” 管接頭 x ¼” 管接頭
  *僅適用于D=3,7,8,9 9:鍍鉻黃銅 3: ¼”MNPT (延長段) x ¼”管接頭
      4: ¼”MNPTx ¼”MNPT
      7: ¼”MNPTx 6mm管接頭
      8: ¼”MNPT (延長段) x ⅛”管接頭
      9: ¼”MNPT (延長段) x ¼”FNPT



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